上海良时独有的单晶硅片喷砂机系喷砂领域尖端技术,其高精密的加工技术绝对是行业的前沿。
单晶硅片/晶圆专用自动喷砂机 1、晶片全自动上下及输送,速度变频可调; 2、各执行机构可细调与微调,喷砂精度可达±2um; 3、精确三级过滤回收及风选,确保加工质量; 4、喷射方式有湿式或干式可选。
1、可编微机控制系统,机械手辅助执行喷枪六维动作; 2、自动轨道小车输送系统,自动柔性升降门; 3、集磨料风选、回收、除尘于一体,环保高效; 4、设计制造商和用户之间建有远程监控诊断系统。
集风选、回收、除尘、双仓连续喷砂于一体,适合于移动施工或与喷砂房组合实现自动喷砂系统,有多种组合方式可选;
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